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三氯氢硅(SiHCl3)是制备硅烷、多晶硅的重要原料,对于反应2SiHCl3(g)SiH2Cl2(g) +SiCl4(g),应速率v=v正-v逆=k正x2SiHCl3-k逆xSiH2Cl2xSiCl4...

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