题目内容：

硅（Si）是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子工业的各个领域。三氯甲硅烷（SiHCl3）还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产流程示意图如下：

（1）硅原子的原子结构示意图为__。

（2）由石英石（SiO2）制备粗硅的化学方程式为__。

（3）“精馏”是蒸馏的一种形式，精馏过程属于__变化（填“物理”或“化学”）。

（4）由三氯甲硅烷（SiHCl3）转变为纯硅时，反应要在无氧环境中进行的原因是__。

（5）该生产工艺中可以循环使用的物质是__。