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三氟化氮(NF3)应用于微电子工业中的等离子刻蚀气体。已知NF3 在潮湿的环境中能发生反应I:3NF3+5H2O=2NO+HNO3+9HF,NF3能有效地刻蚀二氧化硅,发生反应II:4NF3+3SiO...

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