题目内容：

Si是重要的半导体材料，半导体工业中有一句行话“从沙滩到用户”，指的是利用砂子（主要成分SiO2）制取高纯度的Si，其生产流程如下：

（1）步骤②发生反应的反应类型为__________。

（2）步骤①产生的尾气会污染空气，该尾气处理的方法是__________。

（3）步骤③中发生反应的化学方程式为__________。

（4）步骤②、③都需要注意防潮，可能的原因是__________(填字母序号)。

A．硅能与水蒸气反应          B．氢气能与水蒸气反应

C．SiCl4能与水蒸气反应       D．氯化氢能与水蒸气反应